Semicera's10x10mm Nonpolar M-plane Aluminium Substrateis sekuer ûntworpen om te foldwaan oan de krekte easken fan avansearre opto-elektroanyske applikaasjes. Dit substraat hat in net-polêre M-plane-oriïntaasje, dy't kritysk is foar it ferminderjen fan polarisaasje-effekten yn apparaten lykas LED's en laserdiodes, wat liedt ta ferbettere prestaasjes en effisjinsje.
De10x10mm Nonpolar M-plane Aluminium Substrateis makke mei útsûnderlike kristallijne kwaliteit, en soarget foar minimale defektdichtheden en superieure strukturele yntegriteit. Dit makket it in ideale kar foar de epitaksiale groei fan heechweardige III-nitridfilms, dy't essensjeel binne foar de ûntwikkeling fan optoelektroanyske apparaten fan folgjende generaasje.
Semicera syn precision engineering soarget derfoar dat elk10x10mm Nonpolar M-plane Aluminium Substratebiedt konsekwint dikte en oerflak flatness, dy't krúsjaal binne foar unifoarm film ôfsetting en apparaat fabrication. Derneist makket de kompakte grutte fan it substraat it geskikt foar sawol ûndersyks- as produksjeomjouwings, wêrtroch fleksibel gebrûk yn in ferskaat oan tapassingen mooglik is. Mei syn treflike thermyske en gemyske stabiliteit, dit substraat biedt in betroubere basis foar de ûntwikkeling fan cutting-edge opto-elektroanyske technologyen.
| Items | Produksje | Ûndersyk | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface oriïntaasje flater | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektryske parameters | |||
| Dopant | n-type stikstof | ||
| Resistiviteit | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganyske parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre platte oriïntaasje | [1-100]±5° | ||
| Primêr platte lingte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Sekundêre flat | Gjin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bôge | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Front (Si-face) rûchheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuer | |||
| Micropipe tichtens | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metal ûnreinheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Kwaliteit | |||
| Front | Si | ||
| Oerflak finish | Si-face CMP | ||
| Partikels | ≤60ea/wafer (grutte≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5 ea/mm. Kumulative lingte ≤Diameter | Kumulative lingte≤2*Diameter | NA |
| Oranjeskil/pitten/flekken/strielen/barsten/fersmoarging | Gjin | NA | |
| Edge chips / ynspringen / fraktuer / hex platen | Gjin | ||
| Polytype gebieten | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤20% | Kumulatyf gebiet ≤30% |
| Front laser markearring | Gjin | ||
| Werom Kwaliteit | |||
| Back finish | C-gesicht CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, Kumulative lingte≤2*Diameter | NA | |
| Defekten op 'e rêch (rânchips / ynspringen) | Gjin | ||
| Back rûchheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Werom laser marking | 1 mm (fan boppeste râne) | ||
| Râne | |||
| Râne | Chamfer | ||
| Ferpakking | |||
| Ferpakking | Epi-klear mei fakuüm ferpakking Multi-wafer cassette ferpakking | ||
| * Opmerkingen: "NA" betsjut gjin fersyk Items net neamd kinne ferwize nei SEMI-STD. | |||
