Semicera 3C-SiC Wafer Substrates binne ûntworpen om in robúst platfoarm te leverjen foar elektryske elektroanika fan folgjende generaasje en apparaten mei hege frekwinsje. Mei superieure thermyske eigenskippen en elektryske skaaimerken binne dizze substraten ûntworpen om te foldwaan oan de easken fan moderne technology.
De 3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) struktuer fan Semicera Wafer Substrates biedt unike foardielen, ynklusyf hegere termyske conductivity en in legere termyske útwreiding koeffizient yn ferliking mei oare semiconductor materialen. Dit makket se in poerbêste kar foar apparaten dy't wurkje ûnder ekstreme temperatueren en omstannichheden mei hege krêft.
Mei in hege elektryske trochbraakspanning en superieure gemyske stabiliteit soargje Semicera 3C-SiC Wafer Substrates foar langduorjende prestaasjes en betrouberens. Dizze eigenskippen binne kritysk foar tapassingen lykas hege frekwinsje radar, solid-state ferljochting, en macht inverters, dêr't effisjinsje en duorsumens binne foarop.
Semicera's ynset foar kwaliteit wurdt wjerspegele yn it sekuere produksjeproses fan har 3C-SiC wafersubstraten, en garandearje uniformiteit en konsistinsje oer elke batch. Dizze presyzje draacht by oan de algemiene prestaasjes en langstme fan 'e elektroanyske apparaten dy't derop boud binne.
Troch Semicera 3C-SiC Wafer Substrates te kiezen, krije fabrikanten tagong ta in nijsgjirrich materiaal dat de ûntwikkeling fan lytsere, rapper en effisjinter elektroanyske komponinten mooglik makket. Semicera bliuwt technologyske ynnovaasje stypje troch it leverjen fan betroubere oplossingen dy't foldogge oan de evoluearjende easken fan 'e semiconductorsektor.
| Items | Produksje | Ûndersyk | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface oriïntaasje flater | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektryske parameters | |||
| Dopant | n-type stikstof | ||
| Resistiviteit | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganyske parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre platte oriïntaasje | [1-100]±5° | ||
| Primêr platte lingte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Sekundêre flat | Gjin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bôge | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Front (Si-face) rûchheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuer | |||
| Micropipe tichtens | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metal ûnreinheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Kwaliteit | |||
| Front | Si | ||
| Oerflak finish | Si-face CMP | ||
| Partikels | ≤60ea/wafer (grutte≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5 ea/mm. Kumulative lingte ≤Diameter | Kumulative lingte≤2*Diameter | NA |
| Oranjeskil/pitten/flekken/strielen/barsten/fersmoarging | Gjin | NA | |
| Edge chips / ynspringen / fraktuer / hex platen | Gjin | ||
| Polytype gebieten | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤20% | Kumulatyf gebiet ≤30% |
| Front laser markearring | Gjin | ||
| Werom Kwaliteit | |||
| Back finish | C-gesicht CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, Kumulative lingte≤2*Diameter | NA | |
| Defekten op 'e rêch (rânchips / ynspringen) | Gjin | ||
| Back rûchheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Werom laser marking | 1 mm (fan boppeste râne) | ||
| Râne | |||
| Râne | Chamfer | ||
| Ferpakking | |||
| Ferpakking | Epi-klear mei fakuüm ferpakking Multi-wafer cassette ferpakking | ||
| * Opmerkingen: "NA" betsjut gjin fersyk Items net neamd kinne ferwize nei SEMI-STD. | |||
