Semicera's 6-inch semi-isolearjende HPSI SiC-wafers binne ûntworpen om te foldwaan oan 'e strange easken fan moderne semiconductortechnology. Mei útsûnderlike suverens en konsistinsje tsjinje dizze wafels as in betroubere basis foar it ûntwikkeljen fan heech-effisjinsje elektroanyske komponinten.
Dizze HPSI SiC-wafers binne bekend om har treflike termyske konduktiviteit en elektryske isolaasje, dy't kritysk binne foar it optimalisearjen fan de prestaasjes fan krêftapparaten en heechfrekwinsje-sirkels. De semi-isolearjende eigenskippen helpe by it minimalisearjen fan elektryske ynterferinsje en it maksimalisearjen fan apparaateffisjinsje.
It produksjeproses fan hege kwaliteit dat troch Semicera brûkt wurdt, soarget derfoar dat elke wafel unifoarme dikte hat en minimale oerflakdefekten. Dizze presyzje is essensjeel foar avansearre applikaasjes lykas radiofrekwinsje-apparaten, machtomvormers, en LED-systemen, wêr't prestaasjes en duorsumens wichtige faktoaren binne.
Troch gebrûk te meitsjen fan state-of-the-art produksjetechniken, leveret Semicera wafers dy't net allinich foldogge oan, mar de yndustrynormen oertreffe. De 6-inch grutte biedt fleksibiliteit yn it skaalfergrutting fan produksje, catering foar sawol ûndersyk as kommersjele tapassingen yn 'e semiconductorsektor.
Kieze fan Semicera's 6-inch semi-isolearjende HPSI SiC-wafers betsjut ynvestearje yn in produkt dat konsekwinte kwaliteit en prestaasjes leveret. Dizze wafers meitsje diel út fan Semicera's ynset om de mooglikheden fan semiconductortechnology te befoarderjen troch ynnovative materialen en sekuer fakmanskip.
| Items | Produksje | Ûndersyk | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface oriïntaasje flater | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektryske parameters | |||
| Dopant | n-type stikstof | ||
| Resistiviteit | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganyske parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre platte oriïntaasje | [1-100]±5° | ||
| Primêr platte lingte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Sekundêre flat | Gjin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bôge | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Front (Si-face) rûchheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuer | |||
| Micropipe tichtens | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metal ûnreinheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Kwaliteit | |||
| Front | Si | ||
| Oerflak finish | Si-face CMP | ||
| Partikels | ≤60ea/wafer (grutte≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5 ea/mm. Kumulative lingte ≤Diameter | Kumulative lingte≤2*Diameter | NA |
| Oranjeskil/pitten/flekken/strielen/barsten/fersmoarging | Gjin | NA | |
| Edge chips / ynspringen / fraktuer / hex platen | Gjin | ||
| Polytype gebieten | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤20% | Kumulatyf gebiet ≤30% |
| Front laser markearring | Gjin | ||
| Werom Kwaliteit | |||
| Back finish | C-gesicht CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, Kumulative lingte≤2*Diameter | NA | |
| Defekten op 'e rêch (rânchips / ynspringen) | Gjin | ||
| Back rûchheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Werom laser marking | 1 mm (fan boppeste râne) | ||
| Râne | |||
| Râne | Chamfer | ||
| Ferpakking | |||
| Ferpakking | Epi-klear mei fakuüm ferpakking Multi-wafer cassette ferpakking | ||
| * Opmerkingen: "NA" betsjut gjin fersyk Items net neamd kinne ferwize nei SEMI-STD. | |||
