Atomic layer deposition (ALD) is in technology foar gemyske dampdeposysje dy't tinne films laach foar laach groeit troch ôfwikseljend twa of mear foarrinnermolekulen te ynjeksje. ALD hat de foardielen fan hege kontrolearberens en uniformiteit, en kin in protte brûkt wurde yn semiconductor-apparaten, opto-elektroanyske apparaten, enerzjy-opslachapparaten en oare fjilden. De basisprinsipes fan ALD omfetsje foarrinneradsorpsje, oerflakreaksje en fuortheljen fan byprodukten, en mearlaachige materialen kinne wurde foarme troch dizze stappen yn in syklus te werheljen. ALD hat de skaaimerken en foardielen fan hege kontrolearberens, uniformiteit, en net-poreuze struktuer, en kin brûkt wurde foar de deposition fan in ferskaat oan substraat materialen en ferskate materialen.
ALD hat de folgjende skaaimerken en foardielen:
1. Hege kontrolearberens:Sûnt ALD is in laach-by-laach groei proses, de dikte en gearstalling fan elke laach fan materiaal kin krekt wurde kontrolearre.
2. Uniformiteit:ALD kin deponearje materialen unifoarm op it hiele substraat oerflak, foar te kommen dat de unevenness dat kin foarkomme yn oare deposition technologyen.
3. Net-poreuze struktuer:Sûnt ALD wurdt dellein yn ienheden fan inkele atomen of inkele molekulen, de resultearjende film meastentiids hat in dichte, net-poreuze struktuer.
4. Goede dekking prestaasjes:ALD kin struktueren mei hege aspektferhâlding effektyf dekke, lykas nanopore-arrays, materialen mei hege porositeit, ensfh.
5. Skalberens:ALD kin brûkt wurde foar in ferskaat oan substraatmaterialen, ynklusyf metalen, semiconductors, glês, ensfh.
6. Veelzijdigheid:Troch ferskate foarrinnermolekulen te selektearjen, kinne in ferskaat oan ferskillende materialen yn it ALD-proses dellein wurde, lykas metaaloksiden, sulfiden, nitriden, ensfh.
