Semicera leveret spesjalisearre tantaalkarbid (TaC) coatings foar ferskate komponinten en dragers.Semicera liedend coating proses stelt tantaal carbid (TaC) coatings te berikken hege suverens, hege temperatuer stabiliteit en hege gemyske tolerânsje, ferbetterjen produkt kwaliteit fan SIC / GAN kristallen en EPI lagen (Graphite coated TaC susceptor), en it ferlingjen fan it libben fan wichtige reaktorkomponinten.It brûken fan tantaal carbide TaC coating is te lossen de râne probleem en ferbetterjen fan de kwaliteit fan kristal groei, en Semicera hat trochbraak oplost de tantaal carbid coating technology (CVD), it berikken fan de ynternasjonale avansearre nivo.
Mei de komst fan 8-inch silisiumkarbid (SiC) wafers binne de easken foar ferskate semiconductorprosessen hieltyd stranger wurden, benammen foar epitaksyprosessen wêr't temperatueren 2000 graden Celsius kinne oerstekke.Tradysjonele susceptormaterialen, lykas grafyt bedekt mei silisiumkarbid, hawwe de neiging om by dizze hege temperatueren te sublimearjen, wat it epitaksyproses fersteurt.CVD tantaalkarbid (TaC) behannelet dit probleem lykwols effektyf, fernear temperatueren oant 2300 graden Celsius en biedt in langere libbensdoer.Nim kontakt op mei Semicera's CVD Tantalum Carbide Coated Upper Halfmoonom mear te ferkennen oer ús avansearre oplossingen.
Nei jierren fan ûntwikkeling, Semicera hat ferovere de technology fanCVD TaCmei de mienskiplike ynspannings fan de R&D ôfdieling.Defekten binne maklik te foarkommen yn it groeiproses fan SiC-wafels, mar nei gebrûkTaC, it ferskil is signifikant.Hjirûnder is in ferliking fan wafels mei en sûnder TaC, lykas Simicera 'dielen foar groei fan ien kristal.
mei en sûnder TaC
Nei it brûken fan TaC (rjochts)
Boppedat, Semicera'sTaC-coated produkteneksposearje in langere libbensdoer en grutter ferset tsjin hege temperatueren yn ferliking meiSiC coatings.Laboratoariummjittingen hawwe oantoand dat úsTaC coatingkin konsekwint útfiere by temperatueren oant 2300 graden Celsius foar langere perioaden.Hjirûnder binne wat foarbylden fan ús samples:
TaC coated susceptor
Grafyt mei TaC coated reactor
