Semiceraproudly biedtGa2O3Epitaksy, in state-of-the-art oplossing ûntworpen om de grinzen fan machtelektronika en opto-elektroanika te triuwen. Dizze avansearre epitaksiale technology brûkt de unike eigenskippen fan Gallium Oxide (Ga2O3) om superieure prestaasjes te leverjen yn easken applikaasjes.
Key Features:
• Útsûnderlik Wide Bandgap: Ga2O3Epitaksyhat in ultra-brede bandgap, wêrtroch hegere ôfbraakspanningen en effisjinte operaasje yn omjouwings mei hege krêft mooglik binne.
•Hege termyske konduktiviteit: De epitaksiale laach leveret poerbêste termyske konduktiviteit, soarget foar stabile operaasje sels ûnder hege temperatuerbetingsten, wêrtroch it ideaal is foar apparaten mei hege frekwinsje.
•Superior materiaal kwaliteit: Berikke hege kristalkwaliteit mei minimale defekten, soargje foar optimale apparaatprestaasjes en langstme, benammen yn krityske tapassingen lykas krêfttransistors en UV-detektors.
•Veelzijdigheid yn applikaasjes: Perfekt geskikt foar machtelektronika, RF-applikaasjes, en optoelektronika, en leveret in betroubere basis foar folgjende-generaasje semiconductor-apparaten.
Untdek it potinsjeel fanGa2O3Epitaksymei de ynnovative oplossingen fan Semicera. Us epitaksiale produkten binne ûntworpen om te foldwaan oan 'e heechste noarmen fan kwaliteit en prestaasjes, wêrtroch jo apparaten kinne operearje mei maksimale effisjinsje en betrouberens. Kies Semicera foar cutting-edge semiconductor technology.
| Items | Produksje | Ûndersyk | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface oriïntaasje flater | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektryske parameters | |||
| Dopant | n-type stikstof | ||
| Resistiviteit | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganyske parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre platte oriïntaasje | [1-100]±5° | ||
| Primêr platte lingte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Sekundêre flat | Gjin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bôge | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Front (Si-face) rûchheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuer | |||
| Micropipe tichtens | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metal ûnreinheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Kwaliteit | |||
| Front | Si | ||
| Oerflak finish | Si-face CMP | ||
| Partikels | ≤60ea/wafer (grutte≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5 ea/mm. Kumulative lingte ≤Diameter | Kumulative lingte≤2*Diameter | NA |
| Oranjeskil/pitten/flekken/strielen/barsten/fersmoarging | Gjin | NA | |
| Edge chips / ynspringen / fraktuer / hex platen | Gjin | ||
| Polytype gebieten | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤20% | Kumulatyf gebiet ≤30% |
| Front laser markearring | Gjin | ||
| Werom Kwaliteit | |||
| Back finish | C-gesicht CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, Kumulative lingte≤2*Diameter | NA | |
| Defekten op 'e rêch (rânchips / ynspringen) | Gjin | ||
| Back rûchheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Werom laser marking | 1 mm (fan boppeste râne) | ||
| Râne | |||
| Râne | Chamfer | ||
| Ferpakking | |||
| Ferpakking | Epi-klear mei fakuüm ferpakking Multi-wafer cassette ferpakking | ||
| * Opmerkingen: "NA" betsjut gjin fersyk Items net neamd kinne ferwize nei SEMI-STD. | |||
