Hege suverens SiC Carrier / Susceptor

Koarte beskriuwing:

Silisiumkarbidlagerskiif is ek bekend as SIC-bak, silisiumkarbid-etsskiif, ICP-etsskiif. Silicon carbid tray foar LED etsen (SiC tray) φ600mm is in spesjale accessoire foar djippe silisium etsen (ICP ets masine).

Stjoer e-mail nei ús

Produkt Detail

Produkt Tags

Beskriuwing

Silisiumkarbidkeramyk hat poerbêste meganyske eigenskippen by keamertemperatuer, lykas hege sterkte, hege hurdens, hege elastyske modulus, ensfh., It hat ek poerbêste hege temperatuerstabiliteit lykas hege termyske konduktiviteit, lege termyske útwreidingskoëffisjint, en goede spesifike stivens en optysk ferwurkjen prestaasjes.
Se binne benammen geskikt foar it produsearjen fan presys keramyske dielen foar yntegreare circuitapparatuer lykas litografysmasines, fral brûkt foar it produsearjen fan de SiC-drager / susceptor, SiC-waferboat, sûchskiif, wetterkoelplaat, presysmjitreflektor, grating en oare keramyske strukturele dielen

ferfierder 2

ferfierder 3

ferfierder 4

Foardielen

Hege temperatuerresistinsje: normaal gebrûk by 1800 ℃
Hege termyske konduktiviteit: lykweardich oan grafytmateriaal
Hege hurdens: hurdens twadde allinich nei diamant, boriumnitride
Corrosie ferset: sterke soer en alkali hawwe gjin corrosie oan it, de corrosie ferset is better as wolfraam carbide en alumina
Licht gewicht: lege tichtheid, tichtby aluminium
Gjin deformation: lege koëffisjint fan termyske útwreiding
Thermyske skokbestriding: it kin skerpe temperatuerferoaringen ferneare, ferset tsjin thermyske skok, en hat stabile prestaasjes
Silicon carbide drager lykas sic ets drager, ICP ets susceptor, wurde in protte brûkt yn semiconductor CVD, fakuüm sputtering ensfh Wy kinne foarsjen klanten mei maatwurk wafer dragers fan silisium en silisium carbid materialen te foldwaan oan ferskate tapassings.

Foardielen

Besit	Wearde	Metoade
Tichtheid	3,21 g/cc	Sink-float en dimensje
Spesifike waarmte	0,66 J/g °K	Pulsearre laser flash
Flexural sterkte	450 MPa560 MPa	4 punt bocht, RT4 punt bocht, 1300°
Fracture taaiens	2,94 MPa m1/2	Microindentation
Hurdens	2800	Vicker's, 500g lading
Elastic Modulus Young's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bocht, RT4 pt bocht, 1300 °C
Grain grutte	2 – 10 µm	SEM

Company Profile

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. Derneist is ús bedriuw ek ynsette foar keramyske fjilden lykas aluminiumoxide, aluminiumnitride, zirconia, en silisiumnitride, ensfh.

Us wichtichste produkten ynklusyf: silisium carbid ets skiif, silisium carbid boat tow, silisium carbid wafer boat (fotovoltaïsche & semiconductor), silisium carbide oven buis, silisium carbide cantilever paddle, silisium carbide chucks, silisium carbide beam de Ta CVD beam, likegoed as en Ta CVD coating coating. De produkten dy't fral brûkt wurde yn 'e semiconductor- en fotovoltaïske yndustry, lykas apparatuer foar kristalgroei, epitaksy, etsen, ferpakking, coating en diffusionofens, ensfh.
oer (2)