Semicera presintearret maatwurk fan hege kwaliteitsilisium carbid cantilever paddlesmakke om semiconductor manufacturing prosessen te ferheegjen. De ynnovativeSiC paddleûntwerp soarget foar útsûnderlike duorsumens en hege termyske ferset, wêrtroch't it in essinsjeel komponint is foar waferhanneling yn útdaagjende omjouwings mei hege temperatueren.
DeSilisiumkarbid paddleis boud om ekstreme termyske syklusen te wjerstean, wylst strukturele yntegriteit behâldt, en soarget foar betrouber waferferfier tidens krityske fazen fan semiconductorproduksje. Mei superieure meganyske sterkte, ditwafer boatminimearret it risiko fan skea oan wafels, wat liedt ta hegere opbringsten en konsekwinte produksjekwaliteit.
Ien fan 'e wichtichste ynnovaasjes yn Semicera's SiC-paddle leit yn har oanpaste ûntwerpopsjes. Op maat om te foldwaan oan spesifike produksjebehoeften, biedt de paddle fleksibiliteit yn yntegraasje mei ferskate apparatueropsjes, wêrtroch it in ideale oplossing is foar moderne fabrikaazjeprosessen. De lichtgewicht, mar robúste konstruksje makket maklike ôfhanneling mooglik en ferminderet operasjonele downtime, en draacht by oan ferbettere effisjinsje yn semiconductor produksje.
Neist syn termyske en meganyske eigenskippen, deSilisiumkarbid paddlebiedt poerbêste gemyske ferset, wêrtroch it sels yn drege gemyske omjouwings betrouber kin prestearje. Dit makket it benammen geskikt foar gebrûk yn prosessen wêrby't etsen, ôfsettings en behanneling op hege temperatueren belutsen binne, wêrby't it behâld fan 'e yntegriteit fan' e wafelboat krúsjaal is foar it garandearjen fan heechweardige útgongen.
| Fysike eigenskippen fan herkristallisearre silisiumkarbid | |
| Besit | Typyske wearde |
| Wurktemperatuer (°C) | 1600 ° C (mei soerstof), 1700 ° C (ferminderende omjouwing) |
| SiC ynhâld | > 99,96% |
| Fergees Si ynhâld | < 0.1% |
| Bulk tichtens | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Skynbere porositeit | < 16% |
| Kompresjesterkte | > 600 MPa |
| Kâlde bûgen sterkte | 80-90 MPa (20 °C) |
| Hot bûgen sterkte | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Termyske útwreiding @ 1500 ° C | 4,70 10-6/°C |
| Thermyske konduktiviteit @1200 °C | 23 W/m•K |
| Elastyske modulus | 240 GPa |
| Thermal shock ferset | Ekstreem goed |
