Semicera yntrodusearret heechweardige semiconductorsilisium carbid cantilever paddles, ûntworpen om te foldwaan oan de stringende easken fan moderne semiconductor fabrikaazje.
Desilisiumkarbid paddlehat in avansearre ûntwerp dat thermyske útwreiding en warping minimalisearret, wêrtroch it heul betrouber is yn ekstreme omstannichheden. De robúste konstruksje biedt ferbettere duorsumens, it ferminderjen fan it risiko fan brekken of slijtage, wat kritysk is foar it behâld fan hege opbringsten en konsekwinte produksjekwaliteit. Dewafer boatdesign yntegrearret ek naadloos mei standert semiconductor ferwurkjen apparatuer, garandearje komptabiliteit en gemak fan gebrûk.
Ien fan 'e opfallende funksjes fan' e SemiceraSiC paddleis syn gemyske ferset, wêrtroch it útsûnderlik goed prestearje kin yn omjouwings bleatsteld oan korrosive gassen en gemikaliën. De fokus fan Semicera op maatwurk makket maatwurkoplossingen mooglik.
| Fysike eigenskippen fan herkristallisearre silisiumkarbid | |
| Besit | Typyske wearde |
| Wurktemperatuer (°C) | 1600 ° C (mei soerstof), 1700 ° C (ferminderende omjouwing) |
| SiC ynhâld | > 99,96% |
| Fergees Si ynhâld | < 0.1% |
| Bulk tichtens | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Skynbere porositeit | < 16% |
| Kompresjesterkte | > 600 MPa |
| Kâlde bûgen sterkte | 80-90 MPa (20 °C) |
| Hot bûgen sterkte | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Termyske útwreiding @ 1500 ° C | 4,70 10-6/°C |
| Thermyske konduktiviteit @1200 °C | 23 W/m•K |
| Elastyske modulus | 240 GPa |
| Thermal shock ferset | Ekstreem goed |
