Isostatyske PECVD Graphite Boat

Koarte beskriuwing:

Isostatyske PECVD-grafytboat wurdt in protte brûkt yn ferskate keppelings fan semiconductor-produksje, lykas polysilisiumfilmdeposysje, oksidefilmôfslach, nitridefilmôfslach, ensfh.

Stjoer e-mail nei ús

Produkt Detail

Produkt Tags

SEMICERA isostatyske PECVD-grafytboat is in grafytprodukt mei hege suverens, hege tichtheid ûntworpen foar waferstipe yn it PECVD-proses (plasma-fersterke gemyske dampdeposysje). SEMICERA brûkt avansearre isostatyske druktechnology om te soargjen dat de grafytboat in poerbêste hege temperatuerresistinsje, korrosjebestriding, dimensjele stabiliteit en goede thermyske konduktiviteit hat, dy't in ûnmisbere konsumpsje is yn 'e semiconductor-produksjeproses.

SEMICERA isostatyske PECVD grafytboat hat de folgjende foardielen:

▪ Hege suverens: It grafytmateriaal is fan hege suverens en lege ûnreinensynhâld om fersmoarging fan it wafelflak te foarkommen.

▪ Hege tichtens: Hege tichtens, hege meganyske krêft, kin hege temperatuer en hege fakuümomjouwing ferneare.

▪ Goede dimensionale stabiliteit: Lytse dimensionale feroaring by hege temperatuer om prosesstabiliteit te garandearjen.

▪ Prachtige termyske konduktiviteit: Heat effektyf oerdrage om wafer-oververhitting te foarkommen.

▪ Sterke korrosjebestriding: Yn steat om eroazje te wjerstean troch ferskate korrosive gassen en plasma.

Performance parameter	semicera	SGL R6510	Performance parameter
Bulk tichtens (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Bending sterkte (MPa)	63	60	49
Kompresjesterkte (MPa)	135	130	103
Shore Hardness (HS)	70	64	60
Koëffisjint fan termyske útwreiding (10-6 / K)	85	105	130
Koëffisjint fan termyske útwreiding (10-6 / K)	5.85	4.2	5.0
Resistiviteit (μΩm)	11-13	13	10

Foardielen fan ús te kiezen:
▪ Materiaal seleksje: Grafytmaterialen mei hege suverens wurde brûkt om produktkwaliteit te garandearjen.
▪ Ferwurkingstechnology: Isostatyske drukken wurdt brûkt om produkttichtens en uniformiteit te garandearjen.
▪ Oanpassing fan grutte: Grafytboaten fan ferskate grutte en foarmen kinne oanpast wurde neffens klantferlet.
▪ Oerflakbehanneling: In ferskaat oan metoaden foar oerflakbehanneling wurde levere, lykas coating silisiumkarbid, boronitride, ensfh., Om te foldwaan oan ferskate proseseasken.