De wichtichste redenen dy't de unifoarmens fan radiale resistiviteit fan ienkristallen beynfloedzje binne de flakheid fan 'e bêst-flüssige ynterface en it lytse fleantúcheffekt tidens kristalgroei
De ynfloed fan 'e platheid fan' e bêst-flüssige ynterface Tidens kristalgroei, as de smelt gelijkmatig roer wurdt, is it gelikense ferset oerflak de bêst-floeibere ynterface (de ûnreinenskonsintraasje yn 'e smelt is oars as de ûnreinenskonsintraasje yn' e kristal, dus de resistiviteit is oars, en de wjerstân is allinich gelyk oan 'e bêst-flüssige ynterface). Wannear't de ûnreinens K<1, sil de ynterface konvex nei de melt soargje dat de radiale resistiviteit heech is yn 'e midden en leech oan' e râne, wylst de ynterface konkave nei de melt it tsjinoerstelde is. De uniformiteit fan 'e radiale resistiviteit fan' e platte bêst-flüssige ynterface is better. De foarm fan 'e bêst-flüssige ynterface by it lûken fan kristal wurdt bepaald troch faktoaren lykas de thermyske fjildferdieling en de operaasjeparameters foar kristalgroei. Yn 'e rjochte-lutsen single crystal, de foarm fan' e bêst-floeibere oerflak is it resultaat fan it kombinearre effekt fan faktoaren lykas furnace temperatuer ferdieling en crystal waarmte dissipation.
By it lûken fan kristallen binne d'r fjouwer haadtypen fan waarmte-útwikseling by de bêst-flüssige ynterface:
Latente waarmte fan fazeferoaring frijlitten troch smelte silisium fersteuring
Heat conduction fan de melt
Warmtelieding nei boppen troch it kristal
Radiation waarmte nei bûten troch it kristal
De latinte waarmte is unifoarm foar de hiele ynterface, en syn grutte feroaret net as de groei taryf is konstant. (Snelle waarmtelieding, rappe koeling, en ferhege fersteuringsrate)
As de kop fan 'e groeiende kristal tichtby de wetterkuolle siedkristalroede fan' e ienkristalofen is, is de temperatuergradient yn 'e kristal grut, wat de longitudinale waarmtegelieding fan it kristal grutter makket as de strieling fan it oerflak, sadat de bêst-flüssige ynterface konvex nei de melt.
As it kristal groeit nei it midden, de longitudinale waarmte conduction is lyk oan it oerflak strieling waarmte, sadat de ynterface is rjocht.
Oan 'e sturt fan' e kristal is de longitudinale waarmtegelieding minder as de waarmte fan 'e oerflakbestraling, wêrtroch't de bêst-flüssige ynterface konkaaf is foar de melt.
Om ien kristal te krijen mei unifoarme radiale wjerstân, moat de bêst-flüssige ynterface nivellere wurde.
De brûkte metoaden binne: ① Pas it termyske systeem fan kristalgroei oan om de radiale temperatuergradient fan it termyske fjild te ferminderjen.
② Pas de operaasjeparameters foar kristallûken oan. Bygelyks, foar in ynterface konvex nei de melt, fergrutsje de pulling snelheid te fergrutsjen de crystal solidification rate. Op dit stuit, troch de tanimming fan 'e latinte waarmte fan' e kristallisaasje dy't op 'e ynterface frijlitten wurdt, nimt de melttemperatuer tichtby de ynterface ta, wat resulteart yn it smelten fan in diel fan it kristal op' e ynterface, wêrtroch de ynterface flak wurdt. Krektoarsom, as de groei ynterface is konkaaf nei de melt, de groei taryf kin wurde fermindere, en de melt sil solidify in oerienkommende folume, wêrtroch't de groei ynterface plat.
③ Pas de rotaasjesnelheid fan it kristal of kroes oan. It ferheegjen fan de kristalrotaasjesnelheid sil de floeistofstream op hege temperatuer ferheegje dy't fan ûnderen nei boppe ferpleatst by de bêst-floeibere ynterface, wêrtroch't de ynterface feroaret fan konvex nei konkav. De rjochting fan 'e floeistofstream feroarsake troch de rotaasje fan' e kroes is itselde as dy fan natuerlike konveksje, en it effekt is folslein tsjinoer dat fan 'e kristalrotaasje.
④ It fergrutsjen fan de ferhâlding fan 'e ynderlike diameter fan' e kroes oan 'e diameter fan it kristal sil de bêst-flüssige ynterface plat meitsje, en kin ek de dislokaasjetichtens en de soerstofynhâld yn it kristal ferminderje. Algemien, de kroes diameter: crystal diameter = 3 ~ 2,5: 1.
Ynfloed fan it lytse fleantúch effekt
De bêst-flüssige ynterface fan kristalgroei is faaks kromme fanwegen de beheining fan 'e melt-isotherm yn' e kroes. As it kristal gau opheft wurdt tidens kristalgroei, sil in lyts plat fleantúch ferskine by de bêst-floeibere ynterface fan 'e (111) germanium- en silisium-ienkristallen. It is it (111) atoomfleantúch, meastal in lyts fleantúch neamd.
De konsintraasje fan ûnreinheden yn it lytse fleantúchgebiet is hiel oars as dy yn it net-lytse fleantúchgebiet. Dit ferskynsel fan abnormale ferdieling fan ûnreinheden yn it lytse fleantúchgebiet wurdt it lytse fleantúcheffekt neamd.
Troch it effekt fan it lytse fleantúch sil de resistiviteit fan it lytse fleantúchgebiet ôfnimme, en yn slimme gefallen sille ûnreine piipkearnen ferskine. Om de radiale wjerstânsinhomogeniteit te eliminearjen feroarsake troch it effekt fan it lyts fleantúch, moat de bêst-flüssige ynterface nivellere wurde.
Wolkom alle klanten fan oer de hiele wrâld om ús te besykjen foar in fierdere diskusje!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Post tiid: Jul-24-2024