Tinne films brûkt yn semiconductor manufacturing hawwe allegear wjerstân, en film ferset hat in direkte ynfloed op de prestaasjes fan it apparaat. Wy mjitte meastentiids net de absolute wjerstân fan 'e film, mar brûke de blêdwjerstân om it te karakterisearjen.
Wat binne blêdresistinsje en folumeresistiviteit?
Folume resistivity, ek wol bekend as folume resistivity, is in ynherinte eigenskip fan in materiaal dat karakterisearret hoefolle it materiaal de stream fan elektryske stroom hinderet. Faak brûkte symboal ρ stiet foar, de ienheid is Ω.
Sheet ferset, ek bekend as sheet ferset, de Ingelske namme is sheet ferset, dat ferwiist nei de ferset wearde fan de film per ienheid gebiet. Faak brûkte symboalen Rs of ρs om út te drukken, de ienheid is Ω/sq of Ω/□
De relaasje tusken de twa is: sheet ferset = folume resistivity / film dikte, dat is, Rs = ρ / t
Wêrom mjitte sheet ferset?
It mjitten fan 'e absolute wjerstân fan in film fereasket krekte kennis fan' e geometryske ôfmjittings fan 'e film (lingte, breedte, dikte), dy't in protte fariabelen hat en heul kompleks is foar heul tinne of ûnregelmjittich foarme films. De blêdresistinsje is allinich relatearre oan 'e dikte fan' e film en kin fluch en direkt wurde hifke sûnder yngewikkelde grutte berekkeningen.
Hokker films moatte blêdresistinsje mjitte?
Yn 't algemien moatte conductive films en halfgeleiderfilms wurde mjitten foar fjouwerkante ferset, wylst isolearjende films net hoege te wurde mjitten.
By semiconductor-doping wurdt de plaatresistinsje fan silisium ek metten.
Hoe fjouwerkante ferset te mjitten?
De fjouwer-probe-metoade wurdt algemien brûkt yn 'e yndustry. De fjouwer-probe-metoade kin fjouwerkante ferset mjitte fan 1E-3 oant 1E + 9Ω / sq. De fjouwer-probe-metoade kin mjitflaters foarkomme fanwege kontaktferset tusken de sonde en it stekproef.
Metoaden fan mjitting:
1) Set fjouwer lineêr regele sondes op it oerflak fan it stekproef.
2) Tapasse in konstante stroom tusken de twa bûtenste sondes.
3) Bepale de wjerstân troch it mjitten fan it potinsjele ferskil tusken de twa ynterne probes
RS: sheet ferset
ΔV: Feroaring yn spanning mjitten tusken ynterne probes
I: Strom tapast tusken bûtenste sondes
Post tiid: Mar-29-2024