Yn plasma-etsapparatuer spylje keramyske komponinten in krúsjale rol, ynklusyf defokus ring.De fokus ring, pleatst om 'e wafel en yn direkte kontakt mei it, is essinsjeel foar it fokusjen fan it plasma op' e wafel troch spanning oan 'e ring oan te bringen. Dit fersterket de uniformiteit fan it etsproses.
Tapassing fan SiC Focus Ringen yn etsmasines
SiC CVD komponintenyn etsmasines, lykasfokus ringen, gas douchekoppen, platen, en râne ringen, wurde begeunstige troch SiC syn lege reaktiviteit mei chlor en fluor-basearre etsgassen en syn conductivity, wêrtroch't it in ideaal materiaal foar plasma ets apparatuer.
Foardielen fan SiC as fokusringmateriaal
Troch de direkte bleatstelling oan plasma yn 'e fakuümreaksjekeamer moatte fokusringen makke wurde fan plasma-resistinte materialen. Tradysjonele fokusringen, makke fan silisium of kwarts, lije oan min etsresistinsje yn fluor-basearre plasma's, wat liedt ta rappe korrosysje en fermindere effisjinsje.
Fergeliking tusken Si en CVD SiC Focus Rings:
1. Hegere tichtheid:Ferminderet ets folume.
2. Wide bandgap: Biedt poerbêst isolaasje.
3. Hege termyske konduktiviteit en lege útwreidingskoëffisjint: Resistint foar termyske shock.
4. Hege elastisiteit:Goede ferset tsjin meganyske ynfloed.
5. Hege hurdens: Slijtage en corrosie-resistant.
SiC dielt de elektryske konduktiviteit fan silisium, wylst it superieure wjerstân biedt tsjin ionyske etsen. As yntegreare circuit miniaturisaasje foarútgiet, nimt de fraach nei effisjinter etsprosessen ta. Plasma-etsapparatuer, benammen dyjingen dy't kapasityf keppele plasma (CCP) brûke, fereaskje hege plasma-enerzjy, meitsjenSiC fokusringenhieltyd populêrder.
Si en CVD SiC Focus Ring Parameters:
| Parameter | Silisium (Si) | CVD silisiumkarbid (SiC) |
| Tichtheid (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Thermyske konduktiviteit (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Thermyske útwreidingskoëffisjint (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Elastyske modulus (GPa) | 150 | 440 |
| Hurdens | Leger | Heger |
Manufacturing proses fan SiC Focus Rings
Yn semiconductor-apparatuer wurdt CVD (Chemical Vapor Deposition) faak brûkt om SiC-komponinten te produsearjen. Fokusringen wurde produsearre troch SiC yn spesifike foarmen te deponearjen troch dampdeposysje, folge troch meganyske ferwurking om it einprodukt te foarmjen. De materiaalferhâlding foar dampdeposysje wurdt fêststeld nei wiidweidich eksperimintearjen, wêrtroch parameters lykas resistiviteit konsistint binne. Lykwols, ferskillende ets apparatuer kin fereaskje fokus ringen mei wikseljende resistivities, necessitating nije materiaal ratio eksperiminten foar eltse spesifikaasje, dat is tiidslinend en kostber.
Troch te kiezenSiC fokusringenfanSemicera Semiconductor, Klanten kinne de foardielen fan langere ferfangende syklusen en superieure prestaasjes berikke sûnder in substansjele ferheging fan kosten.
Rapid Thermal Processing (RTP) Components
De útsûnderlike thermyske eigenskippen fan CVD SiC meitsje it ideaal foar RTP-applikaasjes. RTP-komponinten, ynklusyf râneringen en platen, profitearje fan CVD SiC. Tidens RTP wurde yntinse waarmtepulsen tapast op yndividuele wafels foar koarte doer, folge troch rappe koeling. CVD SiC râne ringen, dy't tinne en hawwende lege termyske massa, net behâlde wichtige waarmte, wêrtroch't se net beynfloede troch flugge ferwaarming en koeling prosessen.
Plasma Ets Components
De hege gemyske ferset fan CVD SiC makket it geskikt foar etsapplikaasjes. In protte etskeamers brûke CVD SiC gasferdielingsplaten om etsgassen te fersprieden, mei tûzenen lytse gatten foar plasmadispersje. Yn ferliking mei alternative materialen hat CVD SiC in legere reaktiviteit mei chlor en fluorgassen. Yn droege etsen wurde CVD SiC-komponinten lykas fokusringen, ICP-platen, grinsringen en douchekoppen faak brûkt.
SiC fokusringen, mei har tapaste spanning foar plasmafokusearring, moatte genôch konduktiviteit hawwe. Typysk makke fan silisium, fokusringen wurde bleatsteld oan reaktive gassen dy't fluor en chloor befetsje, wat liedt ta ûnûntkombere korrosysje. SiC fokusringen, mei har superieure korrosjebestriding, biede langere lifespans yn ferliking mei silisiumringen.
Lifecycle Fergeliking:
· SiC Focus Rings:Elke 15 oant 20 dagen ferfongen.
· Silicon Focus Rings:Elke 10 oant 12 dagen ferfongen.
Nettsjinsteande SiC-ringen dy't 2 oan 3 kear djoerder binne as silisiumringen, fermindert de útwreide ferfangingssyklus totale komponintferfangingskosten, om't alle weardielen yn 'e keamer tagelyk wurde ferfongen as de keamer wurdt iepene foar fokusringferfanging.
De SiC Focus Rings fan Semicera Semiconductor
Semicera Semiconductor biedt SiC-fokusringen oan prizen tichtby dy fan silisiumringen, mei in levertiid fan sawat 30 dagen. Troch de SiC-fokusringen fan Semicera te yntegrearjen yn plasma-etsapparatuer, wurde effisjinsje en langstme signifikant ferbettere, it ferminderjen fan totale ûnderhâldskosten en it ferbetterjen fan produksje-effisjinsje. Derneist kin Semicera de resistiviteit fan 'e fokusringen oanpasse om oan spesifike klanteasken te foldwaan.
Troch SiC fokusringen fan Semicera Semiconductor te kiezen, kinne klanten de foardielen fan langere ferfangende syklusen en superieure prestaasjes berikke sûnder in substansjele ferheging fan kosten.
Post tiid: Jul-10-2024