Hoe't wy produsearje-ferwurkingsstappen foar SiC-substraten binne as folget:
1. Crystal Oriïntaasje: Mei help fan X-ray diffraksje foar in oriïntearje it kristal ingot.As in röntgenstraal rjochte is op it winske kristalgesicht, bepaalt de hoeke fan 'e diffracted beam de kristaloriïntaasje.
2. Outer Diameter Grinding: Single kristallen groeid yn grafyt kroes faak boppe standert diameters.Outer diameter grinding ferleget se ta standert maten.
End Face Grinding: 4-inch 4H-SiC-substraten hawwe typysk twa posysjerânen, primêr en sekundêr.End face grinding iepenet dizze posisjonearring rânen.
3. Wire Sawing: Wire sawing is in krúsjale stap yn it ferwurkjen fan 4H-SiC substrates.Barsten en ûndergrûnskea feroarsake tidens draadseagen negatyf beynfloedzje folgjende prosessen, ferlingje de ferwurkingstiid en feroarsaakje materiaalferlies.De meast foarkommende metoade is multi-wire sawing mei diamant abrasive.In reciprocating beweging fan metalen triedden bûn mei diamant abrasives wurdt brûkt om snije de 4H-SiC ingot.
4. Chamfering: Om foar te kommen râne Chipping en ferminderjen consumable ferliezen by folgjende prosessen, de skerpe rânen fan 'e wire-sawn chips wurde chamfered oan spesifisearre foarmen.
5. Thinning: Wire sawing lit in protte krassen en sub-surface skea.Thinning wurdt dien mei help fan diamant tsjillen te ferwiderjen dizze mankeminten safolle mooglik.
6. Grinding: Dit proses omfettet rûge slypjen en fyn slypjen mei help fan lytsere boronkarbid of diamant-skuurmiddels om oerbliuwende skea en nije skea te ferwiderjen dy't yn 'e tinning ynfierd binne.
7. Polisearjen: De lêste stappen omfetsje rûge polearjen en fyn polearjen mei help fan aluminiumoxide of silisium okside abrasives.De polisearjende floeistof fersachtet it oerflak, dat dan meganysk fuorthelle wurdt troch abrasives.Dizze stap soarget foar in glêd en net beskeadige oerflak.
8. Cleaning: It fuortheljen fan dieltsjes, metalen, oksidefilms, organyske oerbliuwsels en oare kontaminanten dy't oerbleaun binne fan 'e ferwurkingsstappen.
Post tiid: mei-15-2024