Hoe't wy produsearje-ferwurkingsstappen foar SiC-substraten binne as folget:
1. Kristal Oriïntaasje:
Mei help fan X-ray diffraksje te oriïntearjen it kristal ingot. As in röntgenstraal rjochte is op it winske kristalgesicht, bepaalt de hoeke fan 'e diffracted beam de kristaloriïntaasje.
2. Outer Diameter Grinding:
Ienkristallen groeid yn grafytkroezen binne faak grutter as standertdiameters. Outer diameter grinding ferleget se ta standert maten.
3. End Face Grinding:
4-inch 4H-SiC-substraten hawwe typysk twa posysjerânen, primêr en sekundêr. End face grinding iepenet dizze posisjonearring rânen.
4. Wire Sawing:
Draadseagen is in krúsjale stap yn it ferwurkjen fan 4H-SiC-substraten. Barsten en ûndergrûnskea feroarsake tidens draadseagen negatyf beynfloedzje folgjende prosessen, ferlingje de ferwurkingstiid en feroarsaakje materiaalferlies. De meast foarkommende metoade is multi-wire sawing mei diamant abrasive. In reciprocating beweging fan metalen triedden bûn mei diamant abrasives wurdt brûkt om snije de 4H-SiC ingot.
5. Afkanting:
Om foar te kommen râne chipping en ferminderjen verbruiksartikelen ferliezen tidens folgjende prosessen, de skerpe rânen fan 'e wire-sawn chips wurde chamfered oan spesifisearre foarmen.
6. Dunner:
Draadseagen lit in protte krassen en skea oan ûnder it oerflak litte. Thinning wurdt dien mei help fan diamant tsjillen te ferwiderjen dizze mankeminten safolle mooglik.
7. Slijpen:
Dit proses omfettet rûge slypjen en fyn slypjen mei gebrûk fan boroncarbid of diamantskuormiddels fan lytsere grutte om oerbleaune skea en nije skea te ferwiderjen dy't yntrodusearre binne by it tinjen.
8. Poetsen:
De lêste stappen omfetsje rûch polearjen en fyn polijsten mei aluminiumoxide as silisiumokside-skuurmiddels. De polisearjende floeistof fersachtet it oerflak, dat dan meganysk fuorthelle wurdt troch abrasives. Dizze stap soarget foar in glêd en net beskeadige oerflak.
9. Reiniging:
Fuortsmite dieltsjes, metalen, okside films, organyske resten, en oare fersmoarging oerbleaun út de ferwurkingsstappen.
Post tiid: mei-15-2024