DeMOCVDmetoade is ien fan 'e meast stabile prosessen dy't op it stuit brûkt wurde yn' e yndustry om ienkristalline tinne films fan hege kwaliteit te groeien, lykas ienfaze InGaN epilagen, III-N-materialen, en semiconductorfilms mei multi-kwantumputstrukturen, en is fan grutte betsjutting yn 'e produksje fan semiconductor en opto-elektroanyske apparaten.
DeSiC coating MOCVD susceptoris in spesjalisearre wafer holder bedekt mei silisiumkarbid (SiC) foarepitaxial groei yn it metaal organyske gemyske dampdeposysje (MOCVD) proses.
De SiC-coating hat poerbêste gemyske ferset en termyske stabiliteit, wêrtroch it in ideale kar is foar MOCVD-susceptors dy't brûkt wurde yn easket epitaksiale groeiprosessen.
In kaaibestân fan it MOCVD-proses is de susceptor, dy't in wichtich elemint is om de uniformiteit en kwaliteit fan 'e produsearre tinne films te garandearjen.
Wat is in susceptor? De susceptor is in spesjalisearre komponint dat brûkt wurdt yn it MOCVD-proses om it substraat te stypjen en te ferwaarmjen wêrop de tinne film wurdt dellein. It hat meardere funksjes, ynklusyf it absorbearjen fan elektromagnetyske enerzjy, it konvertearjen fan it yn waarmte, en it evenredige fersprieden fan de waarmte op it substraat. Dizze unifoarme ferwaarming is essensjeel foar de groei fan unifoarme tinne films mei krekte dikte en komposysje.
Soarten susceptors:
1. Graphite susceptors: Graphite susceptors wurde faak bedekt mei in beskermjende laach lykassilisiumkarbid (SiC), dat is bekend om syn hege termyske conductivity en stabiliteit. DeSiC coatingjout in hurde, beskermjende oerflak dat wjerstean corrosie en degradaasje by hege temperatueren.
2. Silisiumkarbid (SiC) susceptors: Dizze susceptors binne folslein makke fan SiC en hawwe poerbêste thermyske stabiliteit en wearbestindich. SiC-susceptors binne benammen geskikt foar prosessen mei hege temperatueren en korrosive omjouwings.
Hoe susceptors wurkje yn MOCVD:
Yn it MOCVD-proses wurde foarrinners yn 'e reaksjekeamer ynfierd wêr't se ûntbine en reagearje om in tinne film te foarmjen op it substraat. De susceptor spilet in fitale rol troch te garandearjen dat it substraat gelijkmatig wurdt ferwaarme, wat kritysk is foar it berikken fan konsekwinte filmeigenskippen oer it heule substraatflak. It materiaal en ûntwerp fan 'e susceptor wurde soarchfâldich selektearre om te foldwaan oan' e spesifike easken fan it ôfsettingsproses, lykas temperatuerberik en gemyske kompatibiliteit.
Foardielen fan it brûken fan heechweardige susceptors:
• Ferbettere filmkwaliteit: Troch it jaan fan unifoarme waarmteferdieling, helpt de susceptor films mei konsekwinte dikte en komposysje te berikken, wat kritysk is foar de prestaasjes fan semiconductor-apparaten.
• Ferbettere proses-effisjinsje: Hegere kwaliteit susceptors fergrutsje de totale effisjinsje fan it MOCVD-proses troch it ferminderjen fan de wikseling fan defekten en it fergrutsjen fan de opbringst fan brûkbere films.
• Lifespan en betrouberens: Susceptors makke fan duorsume materialen lykas SiC soargje foar lange termyn betrouberens en ferminderje ûnderhâldskosten.
De susceptor is in yntegraal komponint yn it MOCVD-proses en hat direkt ynfloed op de kwaliteit en effisjinsje fan tinne filmdeposysje. Foar mear ynformaasje oer beskikbere maten, MOCVD susceptors en prizen, nim dan gerêst kontakt mei ús op. Us yngenieurs sille jo graach advisearje oer passende materialen en beäntwurdzje al jo fragen.
Telefoan: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Post tiid: Aug-12-2024