Semicerais bliid te bieden dePFA Cassette, In premium kar foar waferhanneling yn omjouwings dêr't gemyske ferset en duorsumens foarop binne. Makke fan hege suverens Perfluoroalkoxy (PFA) materiaal, dizze kassette is ûntworpen om te wjerstean de alderheechste easken oan steld omstannichheden yn semiconductor fabrication, garandearje de feiligens en yntegriteit fan jo wafels.
Ongeëvenaarde gemyske fersetDePFA Cassetteis ûntworpen om superieure wjerstân te leverjen oan in breed oanbod fan gemikaliën, wêrtroch it de perfekte kar is foar prosessen dy't agressive soeren, solvents en oare hurde gemikaliën befetsje. Dizze robúste gemyske ferset soarget derfoar dat de kassette yntakt en funksjoneel bliuwt, sels yn 'e meast korrosive omjouwings, wêrtroch't syn libbensdoer ferlingd wurdt en de needsaak foar faak ferfangings ferminderje.
High-Purity ConstructionSemicera'sPFA Cassettewurdt produsearre út ultra-suver PFA materiaal, dat is kritysk foar it foarkommen fan fersmoarging by wafer ferwurking. Dizze konstruksje mei hege suverens minimalisearret it risiko fan partikelgeneraasje en gemyske útloging, en soarget derfoar dat jo wafels wurde beskerme tsjin ûnreinheden dy't har kwaliteit kinne kompromittearje.
Ferbettere duorsumens en prestaasjesÛntwurpen foar duorsumens, dePFA Cassettebehâldt syn strukturele yntegriteit ûnder ekstreme temperatueren en strange ferwurkingsbetingsten. Oft bleatsteld oan hege temperatueren of ûnderwurpen wurde oan werhelle ôfhanneling, dizze kassette behâldt syn foarm en prestaasjes, it bieden fan lange-termyn betrouberens yn easket manufacturing omjouwings.
Precision Engineering foar Secure HandlingDeSemicera PFA Cassettefeatures sekuere technyk dy't soarget foar feilige en stabile wafer handling. Elts slot is soarchfâldich ûntworpen om wafels feilich yn plak te hâlden, en foarkomt elke beweging of ferskowing dy't kin resultearje yn skea. Dizze presyzje-technyk stipet konsekwinte en krekte pleatsing fan wafers, en draacht by oan algemiene proses-effisjinsje.
Alsidige tapassing oer prosessenTroch syn superieure materiaal eigenskippen, dePFA Cassetteis alsidich genôch om te brûken yn ferskate stadia fan semiconductor fabrication. It is benammen goed geskikt foar wiet etsen, gemyske dampdeposysje (CVD), en oare prosessen dy't drege gemyske omjouwings befetsje. Syn oanpassingsfermogen makket it in essinsjeel ark yn it behâld fan proses yntegriteit en wafer kwaliteit.
Ynset foar kwaliteit en ynnovaasjeBy Semicera sette wy ús yn foar it leverjen fan produkten dy't foldogge oan de heechste yndustrynormen. DePFA Cassetteis in foarbyld fan dizze ynset, en biedt in betroubere oplossing dy't naadloos yntegreart yn jo produksjeprosessen. Elke kassette ûndergiet strange kwaliteitskontrôle om te garandearjen dat it foldocht oan ús strange prestaasjeskritearia, en leveret de treflikens dy't jo ferwachtsje fan Semicera.
| Items | Produksje | Ûndersyk | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface oriïntaasje flater | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektryske parameters | |||
| Dopant | n-type stikstof | ||
| Resistiviteit | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganyske parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre platte oriïntaasje | [1-100]±5° | ||
| Primêr platte lingte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Sekundêre flat | Gjin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bôge | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Front (Si-face) rûchheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuer | |||
| Micropipe tichtens | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metal ûnreinheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Kwaliteit | |||
| Front | Si | ||
| Oerflak finish | Si-face CMP | ||
| Partikels | ≤60ea/wafer (grutte≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5 ea/mm. Kumulative lingte ≤Diameter | Kumulative lingte≤2*Diameter | NA |
| Sinaasappelskil/pitten/flekken/strielen/barsten/fersmoarging | Gjin | NA | |
| Edge chips / ynspringen / fraktuer / hex platen | Gjin | ||
| Polytype gebieten | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤20% | Kumulatyf gebiet ≤30% |
| Front laser markearring | Gjin | ||
| Werom Kwaliteit | |||
| Back finish | C-gesicht CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, Kumulative lingte≤2*Diameter | NA | |
| Defekten op 'e rêch (rânchips / ynspringen) | Gjin | ||
| Back rûchheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Werom laser marking | 1 mm (fan boppeste râne) | ||
| Râne | |||
| Râne | Chamfer | ||
| Ferpakking | |||
| Ferpakking | Epi-klear mei fakuüm ferpakking Multi-wafer cassette ferpakking | ||
| * Opmerkingen: "NA" betsjut gjin fersyk Items net neamd kinne ferwize nei SEMI-STD. | |||
