RTPCVD SiC ringenwurde in soad brûkt yn yndustriële en wittenskiplike fjilden yn hege temperatuer en corrosive omjouwings. It spilet in wichtige rol yn semiconductor manufacturing, optoelektronika, precision masines en gemyske yndustry. Spesifike applikaasjes omfetsje:
1. Semiconductor produksje:RTP CVD SiC ringenkin brûkt wurde foar ferwaarming en koeling fan semiconductor apparatuer, it bieden fan stabile temperatuer kontrôle en it garandearjen fan de krektens en gearhing fan it proses.
2. Optoelectronics: Troch syn treflike termyske conductivity en hege temperatuer ferset, RTPCVD SiC ringenkin brûkt wurde as stipe en waarmte dissipaasje materialen foar lasers, glêstried kommunikaasje apparatuer en optyske komponinten.
3. Precision masines: RTP CVD SiC ringen kinne brûkt wurde foar presys ynstruminten en apparatuer yn hege temperatuer en corrosive omjouwings, lykas hege temperatuer ovens, fakuüm apparaten en gemyske reaktors.
4. Chemyske yndustry: Troch syn korrosjebestriding en gemyske stabiliteit kinne RTP CVD SiC-ringen brûkt wurde yn konteners, pipes en reaktors yn gemyske reaksjes en katalytyske prosessen.
Epi System
RTP systeem
CVD systeem
Produktprestaasjes:
1. Moetsje it proses ûnder 28nm
2. Super corrosie ferset
3. Super skjinne prestaasjes
4. Super hurdens
5. Hege tichtheid
6. Hege temperatuer ferset
7. Wear ferset
Produktapplikaasje:
Silisiumkarbidmaterialen hawwe de skaaimerken fan hege hurdens, wearbestindich, korrosjebestriding en hege temperatuerstabiliteit. Produkten mei poerbêste wiidweidige prestaasjes wurde in soad brûkt yn droege etsen en TF / Diffusion prosessen.
Produktprestaasjes:
1. Moetsje it proses ûnder 28nm
2. Super corrosie ferset
3. Super skjinne prestaasjes
4. Super hurdens
5. Hege tichtheid
6. Hege temperatuer ferset
7. Wear ferset
Komposite prosesûntwikkeling:
• Graphite + SiC Coating
• Solide CVD SiC
• Sintered SiC + CVD
• SicSintered SiC
Untwikkeling fan meardere produkttypen:
• Ring
• Tabel
• Susceptor
• Shower Head
