SiC coating dragers foar semiconductor etsen

Koarte beskriuwing:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. is in liedende leveransier fan avansearre semiconductor keramyk. Us haadprodukten omfetsje: Silisiumkarbid-etste schijven, silisiumkarbidboattrailers, silisiumkarbidwaferskippen (PV & Semiconductor), silisiumkarbidofenbuizen, silisiumkarbid-cantileverpaddles, silisiumcarbid-chuck, silisiumkarbidbalken, lykas CVD SiC-coatings en CVD-coatings TaC coating.

De produkten wurde benammen brûkt yn 'e semiconductor en fotovoltaïske yndustry, lykas kristalgroei, epitaksy, etsen, ferpakking, coating en diffusionofenapparatuer.

 

 


Produkt Detail

Produkt Tags

Beskriuwing

Us bedriuw leveret tsjinsten foar SiC-coatingproses troch CVD-metoade op it oerflak fan grafyt, keramyk en oare materialen, sadat spesjale gassen dy't koalstof en silisium befetsje by hege temperatuer reagearje om SiC-molekulen mei hege suverens te krijen, molekulen ôfset op it oerflak fan 'e coated materialen, foarmje SIC beskermjende laach.

Main Features

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding:
de oksidaasjebestriding is noch altyd tige goed as de temperatuer sa heech is as 1600 C.
2. Hege suverens: makke troch gemyske dampdeposysje ûnder hege temperatuer chlorinaasjebetingst.
3. Erosion ferset: hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
4. Korrosjebestriding: soere, alkali, sâlt en organyske reagenzjes.

Main Spesifikaasjes fan CVD-SIC Coating

SiC-CVD Eigenskippen

Crystal Struktuer FCC β faze
Tichtheid g/cm³ 3.21
Hurdens Vickers hurdens 2500
Grain Grutte μm 2~10
Gemyske suverens % 99.99995
Heat Kapasiteit J·kg-1 ·K-1 640
Sublimaasjetemperatuer 2700
Felexural sterkte MPa (RT 4-punt) 415
Young's Modulus Gpa (4pt bocht, 1300 ℃) 430
Thermal Expansion (CTE) 10-6K-1 4.5
Thermyske conductivity (W/mK) 300
Semicera Wurkplak
Semicera wurkplak 2
Equipment masine
CNN-ferwurking, gemyske skjinmeitsjen, CVD-coating
Us tsjinst

  • Foarige:
  • Folgjende: