Semicerayntrodusearret deSemiconductor Cassette, in essinsjeel ark foar it feilige en effisjinte ôfhanneljen fan wafers yn it heule produksjeproses. Dizze kassette is makke mei hege presyzje en soarget derfoar dat jo wafels feilich wurde opslein en ferfierd, en behâldt har yntegriteit yn elke poadium.
Superior beskerming en duorsumensDeSemiconductor Cassettefan Semicera is boud om maksimale beskerming te bieden oan jo wafels. Konstruearre út robúste, fersmoarging-resistinte materialen, it beskermet jo wafels fan potinsjele skea en fersmoarging, wêrtroch't it in ideale kar is foar skjinneomjouwings. It ûntwerp fan 'e kassette minimearret partikulier generaasje en soarget derfoar dat wafels ûnoantaaste en feilich bliuwe by it behanneljen en ferfier.
Ferbettere ûntwerp foar optimale prestaasjesSemicera'sSemiconductor Cassettehat in sekuer oanlein ûntwerp dat soarget foar krekte wafel alignment, ferminderjen fan it risiko fan misalignment en meganyske skea. De slots fan 'e kassette binne perfekt op ôfstân om elke wafel feilich te hâlden, en foarkomt elke beweging dy't kin resultearje yn krassen of oare ûnfolsleinens.
Veelzijdigheid en KompatibiliteitDeSemiconductor Cassetteis alsidich en kompatibel mei ferskate wafer maten, wêrtroch't it geskikt foar ferskate stadia fan semiconductor fabrication. Oft jo wurkje mei standert of oanpaste wafel diminsjes, dizze kassette past him oan jo behoeften oan, en biedt fleksibiliteit yn jo produksjeprosessen.
Streamlined ôfhanneling en effisjinsjeÛntwurpen mei de brûker yn gedachten, deSemicera Semiconductor Cassetteis lichtgewicht en maklik te hantearjen, wêrtroch fluch en effisjint laden en lossen. Dit ergonomyske ûntwerp besparret net allinich tiid, mar ferleget ek it risiko fan minsklike flaters, en soarget foar soepele operaasjes binnen jo foarsjenning.
Meeting Industry StandardsSemicera soarget derfoar dat deSemiconductor Cassettefoldocht oan de heechste yndustry noarmen foar kwaliteit en betrouberens. Elke kassette ûndergiet strange testen om te garandearjen dat it konsekwint prestearret ûnder de easken fan 'e semiconductor-fabrikaazje. Dizze tawijing oan kwaliteit soarget derfoar dat jo wafels altyd wurde beskerme, en behâldt de hege noarmen dy't nedich binne yn 'e yndustry.
| Items | Produksje | Ûndersyk | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface oriïntaasje flater | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektryske parameters | |||
| Dopant | n-type stikstof | ||
| Resistiviteit | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganyske parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre platte oriïntaasje | [1-100]±5° | ||
| Primêr platte lingte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Sekundêre flat | Gjin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bôge | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Front (Si-face) rûchheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuer | |||
| Micropipe tichtens | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metal ûnreinheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Kwaliteit | |||
| Front | Si | ||
| Oerflak finish | Si-face CMP | ||
| Partikels | ≤60ea/wafer (grutte≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5 ea/mm. Kumulative lingte ≤Diameter | Kumulative lingte≤2*Diameter | NA |
| Oranjeskil/pitten/flekken/strielen/barsten/fersmoarging | Gjin | NA | |
| Edge chips / ynspringen / fraktuer / hex platen | Gjin | ||
| Polytype gebieten | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤20% | Kumulatyf gebiet ≤30% |
| Front laser markearring | Gjin | ||
| Werom Kwaliteit | |||
| Back finish | C-gesicht CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, Kumulative lingte≤2*Diameter | NA | |
| Defekten op 'e rêch (rânchips / ynspringen) | Gjin | ||
| Back rûchheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Werom laser marking | 1 mm (fan boppeste râne) | ||
| Râne | |||
| Râne | Chamfer | ||
| Ferpakking | |||
| Ferpakking | Epi-klear mei fakuüm ferpakking Multi-wafer cassette ferpakking | ||
| * Opmerkingen: "NA" betsjut gjin fersyk Items net neamd kinne ferwize nei SEMI-STD. | |||
