Beskriuwing
MOCVD Substraatheater, ferwaarmingselementen foar MOCVD
Graphite heater:
De grafyt heater komponinten wurde brûkt yn 'e hege temperatuer oven mei temperatuer berikt 2200 graden by fakuüm omjouwing en 3000 graden yn de deoxidized en ynfoege gas omjouwing.
Main skaaimerken fan grafyt heater
1. uniformiteit fan ferwaarming struktuer.
2. goede elektryske conductivity en hege elektryske lading.
3. corrosie ferset.
4. inoxidizability.
5. hege gemyske suverens.
6. hege meganyske sterkte.
It foardiel is enerzjysunich, hege wearde en leech ûnderhâld.
Wy kinne produsearje anty-oksidaasje en lange libben span grafyt kroes, grafyt schimmel en alle dielen fan grafyt kachel.
Gemyske grafyt
Foardiel: Hege temperatuer ferset
Applikaasje: MOCVD / Vacuum oven / Hot Zone
Bulk tichtens: 1.68-1.91g/cm3
Flexural sterkte: 30-46Mpa
Resistiviteit: 7-12μΩm
Main parameters fan grafyt heater
| Technyske spesifikaasje | VET-M3 |
| Bulk tichtens (g/cm3) | ≥1.85 |
| Ash ynhâld (PPM) | ≤500 |
| Shore hurdens | ≥45 |
| Spesifike wjerstân (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Flexural Strength (Mpa) | ≥40 |
| Kompresjesterkte (Mpa) | ≥70 |
| Max. Korrelgrutte (μm) | ≤43 |
| Koëffisjint fan termyske útwreiding Mm / ° C | ≤4.4*10-6 |
Graphite kachel foar elektryske oven hat eigenskippen fan waarmte ferset, oksidaasje ferset, goede elektryske conductivity en better meganyske yntinsiteit. Wy kinne ferskate soarten grafytheater bewurkje neffens ûntwerpen fan klanten.
Company Profile
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. Derneist is ús bedriuw ek ynsette foar keramyske fjilden lykas aluminiumoxide, aluminiumnitride, zirconia, en silisiumnitride, ensfh.
Us wichtichste produkten ynklusyf: silisium carbid ets skiif, silisium carbid boat tow, silisium carbid wafer boat (fotovoltaïsche & semiconductor), silisium carbide oven buis, silisium carbide cantilever paddle, silisium carbide chucks, silisium carbide beam de Ta CVD beam, likegoed as en Ta CVD coating coating. De produkten dy't fral brûkt wurde yn 'e semiconductor- en fotovoltaïske yndustry, lykas apparatuer foar kristalgroei, epitaksy, etsen, ferpakking, coating en diffusionofens, ensfh.
Us bedriuw hat de folsleine produksje apparatuer lykas moulding, sintering, ferwurkjen, coating apparatuer, ensfh, dat kin foltôgje alle nedige keppelings fan produkt produksje en hawwe hegere kontrolearberens fan produkt kwaliteit; It optimale produksjeplan kin wurde selektearre neffens de behoeften fan it produkt, wat resulteart yn legere kosten en it jaan fan klanten mei mear kompetitive produkten; Wy kinne de produksje fleksibel en effisjint planne op basis fan easken foar levering fan bestellingen en yn kombinaasje mei online oarderbehearsystemen, en jouwe klanten rapper en mear garandearre levertiid.
