Semicera's Silicon On Insulator (SOI) Wafer is oan 'e foargrûn fan semiconductor-ynnovaasje, en biedt ferbettere elektryske isolaasje en superieure thermyske prestaasjes. De SOI-struktuer, besteande út in tinne silisiumlaach op in isolearjend substraat, leveret krityske foardielen foar elektroanyske apparaten mei hege prestaasjes.
Us SOI-wafers binne ûntworpen om parasitêre kapasitans en lekstromen te minimalisearjen, wat essensjeel is foar it ûntwikkeljen fan yntegreare circuits mei hege snelheid en leechmacht. Dizze avansearre technology soarget derfoar dat apparaten effisjinter wurkje, mei ferbettere snelheid en fermindere enerzjyferbrûk, krúsjaal foar moderne elektroanika.
De avansearre produksjeprosessen dy't troch Semicera brûkt wurde garandearje de produksje fan SOI-wafers mei poerbêste uniformiteit en konsistinsje. Dizze kwaliteit is essensjeel foar tapassingen yn telekommunikaasje, automotive en konsuminteelektronika, wêr't betroubere en heechprestearjende komponinten nedich binne.
Njonken har elektryske foardielen biede Semicera's SOI-wafers superieure thermyske isolaasje, it ferbetterjen fan waarmtedissipaasje en stabiliteit yn apparaten mei hege tichtheid en hege krêft. Dizze funksje is benammen weardefol yn tapassingen dy't signifikante waarmtegeneraasje belûke en effektyf thermysk behear fereaskje.
Troch te kiezen foar Semicera's Silicon On Insulator Wafer, ynvestearje jo yn in produkt dat de foarútgong fan avansearre technologyen stipet. Us ynset foar kwaliteit en ynnovaasje soarget derfoar dat ús SOI-wafers foldogge oan de strange easken fan 'e hjoeddeistige semiconductor-yndustry, en leverje de basis foar elektroanyske apparaten fan folgjende generaasje.
| Items | Produksje | Ûndersyk | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface oriïntaasje flater | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektryske parameters | |||
| Dopant | n-type stikstof | ||
| Resistiviteit | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganyske parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre platte oriïntaasje | [1-100]±5° | ||
| Primêr platte lingte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Sekundêre flat | Gjin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bôge | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Front (Si-face) rûchheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuer | |||
| Micropipe tichtens | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metal ûnreinheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Kwaliteit | |||
| Front | Si | ||
| Oerflak finish | Si-face CMP | ||
| Partikels | ≤60ea/wafer (grutte≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5 ea/mm. Kumulative lingte ≤Diameter | Kumulative lingte≤2*Diameter | NA |
| Oranjeskil/pitten/flekken/strielen/barsten/fersmoarging | Gjin | NA | |
| Edge chips / ynspringen / fraktuer / hex platen | Gjin | ||
| Polytype gebieten | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤20% | Kumulatyf gebiet ≤30% |
| Front laser markearring | Gjin | ||
| Werom Kwaliteit | |||
| Back finish | C-gesicht CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, Kumulative lingte≤2*Diameter | NA | |
| Defekten op 'e rêch (rânchips / ynspringen) | Gjin | ||
| Back rûchheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Werom laser marking | 1 mm (fan boppeste râne) | ||
| Râne | |||
| Râne | Chamfer | ||
| Ferpakking | |||
| Ferpakking | Epi-klear mei fakuüm ferpakking Multi-wafer cassette ferpakking | ||
| * Opmerkingen: "NA" betsjut gjin fersyk Items net neamd kinne ferwize nei SEMI-STD. | |||
