TaC-coated epitaksiale waferdragerswurde normaal brûkt yn 'e tarieding fan opto-elektronyske apparaten mei hege prestaasjes, krêftapparaten, sensors en oare fjilden. Ditepitaksiale waferdragerferwiist nei de ôfsetting fanTaCtinne film op it substraat tidens it proses fan kristalgroei om in wafel te foarmjen mei spesifike struktuer en prestaasjes foar folgjende apparaattarieding.
Chemical vapour deposition (CVD) technology wurdt normaal brûkt foar it tariedenTaC-coated epitaksiale waferdragers. Troch it reagearjen fan metalen organyske foarrinners en koalstofboarngassen by hege temperatueren kin in TaC-film op it oerflak fan it kristalsubstraat dellein wurde. Dizze film kin poerbêste elektryske, optyske en meganyske eigenskippen hawwe en is geskikt foar de tarieding fan ferskate hege-optreden apparaten.
Semicera leveret spesjalisearre tantaalkarbid (TaC) coatings foar ferskate komponinten en dragers.Semicera liedend coating proses stelt tantaal carbid (TaC) coatings te berikken hege suverens, hege temperatuer stabiliteit en hege gemyske tolerânsje, ferbetterjen produkt kwaliteit fan SIC / GAN kristallen en EPI lagen (Graphite coated TaC susceptor), en it ferlingjen fan it libben fan wichtige reaktorkomponinten. It brûken fan tantaal carbide TaC coating is te lossen de râne probleem en ferbetterjen fan de kwaliteit fan kristal groei, en Semicera hat trochbraak oplost de tantaal carbid coating technology (CVD), it berikken fan de ynternasjonale avansearre nivo.
Nei jierren fan ûntwikkeling, Semicera hat ferovere de technology fanCVD TaCmei de mienskiplike ynspannings fan de R&D ôfdieling. Defekten binne maklik te foarkommen yn it groeiproses fan SiC-wafels, mar nei gebrûkTaC, it ferskil is signifikant. Hjirûnder is in ferliking fan wafels mei en sûnder TaC, lykas Simicera 'dielen foar groei fan ien kristal.
mei en sûnder TaC
Nei it brûken fan TaC (rjochts)
Boppedat, Semicera'sTaC-coated produkteneksposearje in langere libbensdoer en grutter ferset tsjin hege temperatueren yn ferliking meiSiC coatings.Laboratoariummjittingen hawwe oantoand dat úsTaC coatingkin konsekwint útfiere by temperatueren oant 2300 graden Celsius foar langere perioaden. Hjirûnder binne wat foarbylden fan ús foarbylden:
