Semicera leveret spesjalisearre tantaalkarbid (TaC) coatings foar ferskate komponinten en dragers.Semicera liedend coating proses stelt tantaal carbid (TaC) coatings te berikken hege suverens, hege temperatuer stabiliteit en hege gemyske tolerânsje, ferbetterjen produkt kwaliteit fan SIC / GAN kristallen en EPI lagen (Graphite coated TaC susceptor), en it ferlingjen fan it libben fan wichtige reaktorkomponinten. It brûken fan tantaal carbide TaC coating is te lossen de râne probleem en ferbetterjen fan de kwaliteit fan kristal groei, en Semicera hat trochbraak oplost de tantaal carbid coating technology (CVD), it berikken fan de ynternasjonale avansearre nivo.
Tantaalcarbid-coated waferdragers wurde in protte brûkt yn wafelferwurking en -hanteringsprosessen yn semiconductor fabrikaazjeprosessen. Se leverje stabile stipe en beskerming om de feiligens, krektens en konsistinsje fan wafels te garandearjen tidens it fabrikaazjeproses. Tantaalcarbid-coatings kinne de libbensdoer fan 'e drager ferlingje, kosten ferminderje en de kwaliteit en betrouberens fan semiconductorprodukten ferbetterje.
Beskriuwing fan tantaalcarbid-coated waferdrager is as folget:
1. Materiaal seleksje: Tantalumkarbid is in materiaal mei poerbêste prestaasjes, hege hurdens, hege smeltpunt, korrosjebestriding en poerbêste meganyske eigenskippen, sadat it in protte brûkt wurdt yn semiconductor-produksjeproses.
2. Surface coating: Tantalum carbid coating wurdt tapast oan it oerflak fan wafer carrier troch in spesjale coating proses te foarmjen in unifoarm en dichte tantalum carbid coating. Dizze coating kin foarsjen ekstra beskerming en wear ferset, wylst hawwende goede termyske conductivity.
3. Flatness en krektens: Tantalum carbid coated wafer carrier hat in hege mjitte fan flatness en presyzje, it garandearjen fan de stabiliteit en krektens fan wafers tidens it produksjeproses. De platheid en finish fan it dragerflak binne kritysk om de kwaliteit en prestaasjes fan 'e wafel te garandearjen.
4. Temperatuerstabiliteit: Tantalumkarbid-coated waferdragers kinne stabiliteit yn hege temperatueromjouwingen behâlde sûnder deformaasje of loslitte, en soargje foar de stabiliteit en konsistinsje fan wafels yn hege temperatuerprosessen.
5. Korrosjebestriding: Tantalumcarbid-coatings hawwe poerbêste korrosjebestriding, kinne de eroazje fan gemikaliën en solvents wjerstean, en de drager beskermje fan floeistof- en gaskorrosje.
mei en sûnder TaC
Nei it brûken fan TaC (rjochts)
Boppedat, Semicera'sTaC-coated produkteneksposearje in langere libbensdoer en grutter ferset tsjin hege temperatueren yn ferliking meiSiC coating.Laboratoariummjittingen hawwe oantoand dat úsTaC coatingkin konsekwint útfiere by temperatueren oant 2300 graden Celsius foar langere perioaden. Hjirûnder binne wat foarbylden fan ús foarbylden:
