Tantaal carbid coated susceptor stipe plaatis in susceptor of stipe struktuer dat is bedekt mei in tinne laach fantantaalkarbid. Dizze coating kin wurde foarme op it susceptor oerflak troch techniken lykas fysike dampdeposition (PVD) of gemyske dampdeposition (CVD), wêrtroch de susceptor de superieure eigenskippen fantantaalkarbid.
Semicera leveret spesjalisearre tantaalkarbid (TaC) coatings foar ferskate komponinten en dragers.Semicera liedend coating proses stelt tantaal carbid (TaC) coatings te berikken hege suverens, hege temperatuer stabiliteit en hege gemyske tolerânsje, ferbetterjen produkt kwaliteit fan SIC / GAN kristallen en EPI lagen (Graphite coated TaC susceptor), en it ferlingjen fan it libben fan wichtige reaktorkomponinten. It brûken fan tantaal carbide TaC coating is te lossen de râne probleem en ferbetterjen fan de kwaliteit fan kristal groei, en Semicera hat trochbraak oplost de tantaal carbid coating technology (CVD), it berikken fan de ynternasjonale avansearre nivo.
Nei jierren fan ûntwikkeling, Semicera hat ferovere de technology fanCVD TaCmei de mienskiplike ynspannings fan de R&D ôfdieling. Defekten binne maklik te foarkommen yn it groeiproses fan SiC-wafels, mar nei gebrûkTaC, it ferskil is signifikant. Hjirûnder is in ferliking fan wafels mei en sûnder TaC, lykas Simicera 'dielen foar groei fan ien kristal.
De wichtichste skaaimerken fan tantaal carbid coated basis stipe platen omfetsje:
1. Stabiliteit fan hege temperatuer: Tantalumkarbid hat poerbêste hege temperatuerstabiliteit, wêrtroch't de beklaaide basisstipeplaat geskikt is foar stipeferletten yn wurkomjouwings mei hege temperatueren.
2. Korrosjebestriding: Tantalumkarbid-coating hat goede korrosjebestriding, kin gemyske korrosysje en oksidaasje wjerstean, en it libben fan 'e basis ferlingje.
3. Hege hurdens en wearzebestriding: De hege hurdens fan tantaalkarbid-coating jout de basis-stipeplaat goede wearbestindich, dy't geskikt is foar gelegenheden dy't hege wearzebestriding nedich binne.
4. Gemyske stabiliteit: Tantalumkarbid hat hege stabiliteit foar in ferskaat oan gemyske stoffen, wêrtroch't de coated basis-stipeplaat goed presteart yn guon korrosive omjouwings.
mei en sûnder TaC
Nei it brûken fan TaC (rjochts)
Boppedat, Semicera'sTaC-coated produkteneksposearje in langere libbensdoer en grutter ferset tsjin hege temperatueren yn ferliking meiSiC coatings.Laboratoariummjittingen hawwe oantoand dat úsTaC coatingkin konsekwint útfiere by temperatueren oant 2300 graden Celsius foar langere perioaden. Hjirûnder binne wat foarbylden fan ús foarbylden:
