Semicera leveret spesjalisearre tantaalkarbid (TaC) coatings foar ferskate komponinten en dragers.Semicera liedend coating proses stelt tantaal carbid (TaC) coatings te berikken hege suverens, hege temperatuer stabiliteit en hege gemyske tolerânsje, ferbetterjen produkt kwaliteit fan SIC / GAN kristallen en EPI lagen (Graphite coated TaC susceptor), en it ferlingjen fan it libben fan wichtige reaktorkomponinten. It brûken fan tantaal carbide TaC coating is te lossen de râne probleem en ferbetterjen fan de kwaliteit fan kristal groei, en Semicera hat trochbraak oplost de tantaal carbid coating technology (CVD), it berikken fan de ynternasjonale avansearre nivo.
Grafyt is in treflik hege temperatuer materiaal, mar it oxidizes maklik by hege temperatueren. Sels yn fakuümofen mei inert gas kin it noch stadige oksidaasje ûndergean. It brûken fan in CVD tantaalcarbid (TaC) coating kin effektyf beskermje it grafyt substraat, it bieden fan deselde hege-temperatuer ferset as grafyt. TaC is ek in inert materiaal, wat betsjut dat it net reagearret mei gassen lykas argon of wetterstof by hege temperatueren.EnkêteTantaal Carbide CVD Coating EPI Susceptor no!
Nei jierren fan ûntwikkeling, Semicera hat ferovere de technology fanCVD TaCmei de mienskiplike ynspannings fan de R&D ôfdieling. Defekten binne maklik te foarkommen yn it groeiproses fan SiC-wafels, mar nei gebrûkTaC, it ferskil is signifikant. Hjirûnder is in ferliking fan wafels mei en sûnder TaC, lykas Simicera 'dielen foar groei fan ien kristal.
mei en sûnder TaC
Nei it brûken fan TaC (rjochts)
Boppedat, Semicera'sTaC-coated produkteneksposearje in langere libbensdoer en grutter ferset tsjin hege temperatueren yn ferliking meiSiC coating.Laboratoariummjittingen hawwe oantoand dat úsTaC coatingkin konsekwint útfiere by temperatueren oant 2300 graden Celsius foar langere perioaden. Hjirûnder binne wat foarbylden fan ús foarbylden:
