Wafer handling earmis in kaai apparatuer brûkt yn de semiconductor manufacturing proses te behanneljen, oerdracht en posysjewafels. It bestiet meast út in robotyske earm, in gripper en in kontrôlesysteem, mei krekte bewegings- en posysjonearringsmooglikheden.Wafer handling earmswurde in soad brûkt yn ferskate keppelings yn semiconductor manufacturing, ynklusyf proses stappen lykas wafer laden, skjinmeitsjen, tinne film deposition, etsen, litografy en ynspeksje. De krektens, betrouberens en automatisearringsmooglikheden binne essensjeel om de kwaliteit, effisjinsje en konsistinsje fan it produksjeproses te garandearjen.
De haadfunksjes fan 'e waferhannelingarm omfetsje:
1. Wafer-oerdracht: De wafer-hannelingarm is yn steat om wafels fan de iene lokaasje nei de oare krekt oer te bringen, lykas wafels fan in opslachrek nimme en se yn in ferwurkingsapparaat pleatse.
2. Posysje en oriïntaasje: De wafer-hannelingarm is yn steat om de wafer sekuer te pleatsen en te oriïntearjen om de juste ôfstimming en posysje te garandearjen foar folgjende ferwurkings- of mjittingsoperaasjes.
3. Clamping en loslitte: Wafer handling earms wurde meastal foarsjoen fan grippers dat kin feilich clamp wafers en loslitte se as it nedich is om te soargjen feilich oerdracht en ôfhanneljen fan wafers.
4. Automatisearre kontrôle: De wafer-hannelingarm is foarsjoen fan in avansearre kontrôlesysteem dat automatysk foarbepaalde aksje-sekwinsjes útfiere kin, produksje-effisjinsje ferbetterje en minsklike flaters ferminderje.
Skaaimerken en foardielen
1.Precise dimensjes en thermyske stabiliteit.
2.High spesifike stiffness en poerbêst termyske uniformiteit, lange-termyn gebrûk is net maklik te bûgen deformation.
3.It hat in glêd oerflak en goede wearze ferset, sadat de chip feilich behannele wurdt sûnder dieltsje kontaminaasje.
4.Silicon carbid resistivity yn 106-108Ω, net-magnetysk, yn oerienstimming mei anty-ESD spesifikaasje easken; It kin de accumulation fan statyske elektrisiteit op it oerflak fan 'e chip foarkomme.
5.Good termyske konduktiviteit, lege útwreidingskoëffisjint.
