Tapassing fan TaC coated grafyt dielen

DIEL 1

Kroes, siedhâlder en gidsring yn SiC en AIN ienkristalofen waarden groeid troch PVT-metoade

Lykas werjûn yn figuer 2 [1], as fysike dampferfiermetoade (PVT) wurdt brûkt om SiC te meitsjen, is it siedkristal yn 'e relatyf lege temperatuerregio, de SiC-grûnstof is yn' e relatyf hege temperatuerregio (boppe 2400)℃), en de grûnstof ûntbrekt om SiXCy te produsearjen (benammen ynklusyf Si, SiC₂, Si₂C, ensfh.).De dampfase materiaal wurdt ferfierd út de hege temperatuer regio nei it sied crystal yn de lege temperatuer regio, forming sied kearnen, groeit, en generearje ien kristallen.Thermal fjild materialen brûkt yn dit proses, lykas kroes, flow gids ring, sied crystal holder, moat wêze resistint foar hege temperatuer en sil net fersmoargje SiC grûnstoffen en SiC single kristallen.Op deselde manier moatte de ferwaarmingseleminten yn 'e groei fan AlN-ienkristallen resistint wêze foar Al-damp, N₂corrosie, en moatte in hege eutektyske temperatuer hawwe (mei AlN) om de kristal tariedingsperioade te ferkoartjen.

It waard fûn dat de SiC[2-5] en AlN[2-3] taret trochTaC coatedgrafyt termyske fjild materialen wiene skjinner, hast gjin koalstof (soerstof, stikstof) en oare ûnreinheden, minder râne defekten, lytsere resistivity yn elke regio, en de micropore tichtens en ets pit tichtheid waarden signifikant fermindere (nei KOH etsen), en de kristal kwaliteit waard gâns ferbettere.Derneist,TaC kroesgewicht ferlies taryf is hast nul, uterlik is net-destruktyf, kin wurde recycled (libben oant 200h), kin ferbetterje de duorsumens en effisjinsje fan sa'n single crystal tarieding.

FIG.2. (in) Skematyske diagram fan SiC single crystal ingot groeiende apparaat troch PVT metoade
(b) BoppeTaC coatedseed bracket (ynklusyf SiC sied)
(c)TAC-coated grafyt gids ring

PART/2

MOCVD GaN epitaksiale laach groeiende heater

Lykas werjûn yn figuer 3 (a), is MOCVD GaN-groei in gemyske dampdeposysjetechnology mei help fan organometryske ûntbiningsreaksje om tinne films te groeien troch dampepitaksiale groei.De temperatuer krektens en uniformiteit yn 'e holte meitsje de kachel wurden de meast wichtige kearn komponint fan MOCVD apparatuer.Oft it substraat kin wurde ferwaarme fluch en unifoarm foar in lange tiid (ûnder werhelle koeling), de stabiliteit by hege temperatuer (resistinsje tsjin gas corrosie) en de suverens fan 'e film sil direkt beynfloedzje de kwaliteit fan' e film deposition, de dikte gearhing, en de prestaasjes fan 'e chip.

Om de prestaasjes en recycling-effisjinsje fan 'e kachel yn MOCVD GaN-groeisysteem te ferbetterjen,TAC-coatedgrafyt heater waard mei súkses yntrodusearre.Yn ferliking mei GaN epitaxial laach groeid troch konvinsjonele kachel (mei help fan pBN coating), GaN epitaxial laach groeid troch TaC heater hat hast deselde crystal struktuer, dikte uniformiteit, yntrinsike mankeminten, ûnreinheden doping en fersmoarging.Dêrneist, deTaC coatinghat lege resistivity en lege oerflak emissivity, dat kin ferbetterje de effisjinsje en uniformiteit fan de kachel, dêrmei ferminderjen macht konsumpsje en waarmte ferlies.De porositeit fan 'e coating kin oanpast wurde troch it kontrolearjen fan de prosesparameters om de strielingskaaimerken fan' e kachel fierder te ferbetterjen en syn libbensdoer te ferlingjen [5].Dizze foardielen meitsjeTaC coatedgrafyt kachels in poerbêste kar foar MOCVD GaN groei systemen.

FIG.3. (in) Skematyske diagram fan MOCVD apparaat foar GaN epitaxial groei
(b) Moulded TAC-coated grafytheater ynstalleare yn MOCVD-opset, útsein basis en beugel (yllustraasje dy't basis en beugel yn ferwaarming toant)
(c) TAC-coated grafyt kachel nei 17 GaN epitaxial groei.[6]

PART/3

Coated susceptor foar epitaksy (waferdrager)

Wafer drager is in wichtige strukturele komponint foar de tarieding fan SiC, AlN, GaN en oare tredde klasse semiconductor wafels en epitaxial wafer groei.De measte fan 'e wafeldragers binne makke fan grafyt en bedekt mei SiC-coating om korrosje te wjerstean fan prosesgassen, mei in epitaksiaal temperatuerberik fan 1100 oant 1600°C, en de korrosjebestriding fan 'e beskermjende coating spilet in krúsjale rol yn it libben fan' e wafeldrager.De resultaten litte sjen dat de korrosysje fan TaC 6 kear stadiger is as SiC yn ammoniak op hege temperatuer.Yn wetterstof op hege temperatuer is de korrosysje noch mear as 10 kear stadiger as SiC.

It is bewiisd troch eksperiminten dat de trays bedekt mei TaC in goede kompatibiliteit toane yn it blau ljocht GaN MOCVD-proses en gjin ûnreinheden ynfiere.Nei beheinde prosesoanpassingen fertoane leds groeid mei TaC-dragers deselde prestaasjes en uniformiteit as konvinsjonele SiC-dragers.Dêrom, it libben fan TAC-coated pallets is better as dy fan bleate stien inket enSiC coatedgrafyt pallets.