DIEL 1
CVD (Chemical Vapor Deposition) metoade:
By 900-2300 ℃, mei TaCl5en CnHm as tantaal en koalstof boarnen, H₂ as ferminderjende sfear, Ar₂as dragergas, reaksje deposition film.De taret coating is kompakt, unifoarm en hege suverens.D'r binne lykwols wat problemen lykas komplisearre proses, djoere kosten, lestige luchtstreamkontrôle en lege ôfsettingseffisjinsje.
PART/2
Slurry sintering metoade:
De slurry dy't koalstofboarne, tantaalboarne, dispersant en bindmiddel befettet, wurdt op 'e grafyt bedekt en nei it droegjen sintere op hege temperatuer.De taret coating groeit sûnder reguliere oriïntaasje, hat lege kosten en is geskikt foar grutskalige produksje.It bliuwt te ûndersiikjen om unifoarme en folsleine coating op grutte grafyt te berikken, stipedefekten te eliminearjen en de bondingkrêft fan coating te ferbetterjen.
PART/3
Plasma spuitmethode:
TaC poeder wurdt smolten troch plasma bôge op hege temperatuer, atomized yn hege temperatuer drippen troch hege-snelheid jet, en spuite op it oerflak fan grafyt materiaal.It is maklik om okside laach te foarmjen ûnder net-fakuüm, en it enerzjyferbrûk is grut.
Figure .Wafelbak nei gebrûk yn GaN epitaksiaal groeid MOCVD-apparaat (Veeco P75).De iene oan de linkerkant is bedekt mei TaC en de iene oan de rjochterkant is bedekt mei SiC.
TaC coatedgrafyt dielen moatte wurde oplost
DIEL 1
Binende krêft:
De termyske útwreidingskoëffisjint en oare fysike eigenskippen tusken TaC en koalstof materialen binne oars, de coating bonding sterkte is leech, it is dreech om te kommen barsten, poarjes en termyske stress, en de coating is maklik te skiljen ôf yn 'e eigentlike sfear befettet rot en werhelle rising en cooling proses.
PART/2
Reinheid:
TaC coatingmoat ultra-hege suverens wêze om ûnreinheden en fersmoarging te foarkommen ûnder hege temperatueromstannichheden, en de effektive ynhâldnoarmen en karakterisaasjenoarmen fan frije koalstof en yntrinsike ûnreinheden op it oerflak en binnen fan 'e folsleine coating moatte wurde ôfpraat.
PART/3
Stabiliteit:
Hege temperatuerresistinsje en gemyske sfearresistinsje boppe 2300 ℃ binne de wichtichste yndikatoaren om de stabiliteit fan 'e coating te testen.Pinholes, barsten, ûntbrekkende hoeken, en ienige oriïntaasje nôt grinzen binne maklik te feroarsaakje corrosive gassen te penetrearjen en penetrearje yn it grafyt, resultearret yn coating beskerming falen.
PART/4
Oxidaasjebestriding:
TaC begjint te oksidearjen nei Ta2O5 as it boppe 500 ℃ is, en de oksidaasjetaryf nimt ta mei de tanimming fan temperatuer en soerstofkonsintraasje.It oerflak oksidaasje begjint út de nôt grinzen en lytse kerrels, en stadichoan foarmet columnar kristallen en brutsen kristallen, resultearret yn in grut oantal gatten en gatten, en soerstof ynfiltraasje fersterket oant de coating wurdt stripped.De resultearjende okside laach hat minne termyske conductivity en in ferskaat oan kleuren yn uterlik.
PART/5
Uniformiteit en rûchheid:
Unjildich ferdieling fan de coating oerflak kin liede ta lokale termyske stress konsintraasje, it fergrutsjen fan it risiko fan cracking en spalling.Dêrneist oerflak ruwheid direkt beynfloedet de ynteraksje tusken de coating en de eksterne omjouwing, en te hege ruwheid maklik liedt ta ferhege wriuwing mei de wafel en oneffen termyske fjild.
PART/6
Grain grutte:
De unifoarme korrelgrutte helpt de stabiliteit fan 'e coating.As de nôt grutte is lyts, de bân is net strak, en it is maklik in wurde oxidized en corroded, resultearret yn in grut oantal skuorren en gatten yn 'e nôt râne, dat ferleget de beskermjende prestaasjes fan de coating.As de nôt grutte is te grut, it is relatyf rûch, en de coating is maklik te flake ôf ûnder termyske stress.
Post tiid: Mar-05-2024